Ионно-плазменные методы нанесения тонких пленок, Андрей Соловьёв, Николай Сочугов und Константин Оскомов

Книга посвящена проблеме нанесения тонкопленочныхпокрытий различного функционального назначения наширокоформатные подложки. В ней представлен обзорсовременных методов нанесения покрытий сиспользованием низкотемпературной плазмы. Приописании методов и оборудования для нанесенияпокрытий в вакууме особое внимание уделяетсяустройствам со скрещенными электрическим и магнитнымполями, к которым относятся магнетронныераспылительные системы и ионные источники с аноднымслоем, что обусловлено их возможностью создаватьоднородные протяженные потоки плазмы. Помимо этого вкниге подробно описано современное состояние дел вобласти ионно-плазменного осаждения алмазоподобныхпокрытий и приведены результаты, полученные авторамипри разработке цилиндрических магнетронныхраспылительных систем, нанесении твердых углеродныхпокрытий с помощью устройств со скрещеннымиэлектрическим и магнитным полями.Книга предназначена для специалистов, интересующихсяв различных аспектах проблематики покрытий имодифицирования...