Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы, В. Киреев, А. Столяров

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы, В. Киреев, А. Столяров
Автор: В. Киреев, А. Столяров
Доступно в форматах: EPUB | PDF | FB2
Страниц: 192
Год издания: 2006
Язык: Русский
Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении Функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок. Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.

Отзывы

Добавить отзыв

Те, кто смотрел эту страницу, также интересовались:

Историческая библиография в Югославии во второй половине ХХ века, Слива А.И.
Историческая библиография в Югославии во второй половине ХХ века, Слива А.И. 		Гомологическая изменчивость морфологических структур и эпигенетическая дивергенция таксонов: основы популяционной мерономии, А. Г. Васильев, И. А. Васильева
Гомологическая изменчивость морфологических структур и эпигенетическая дивергенция таксонов: основы популяционной мерономии, А. Г. Васильев, И. А. Васильева 		Респираторные болезни свиней, Алексей Шахов und Лариса Сашнина
Респираторные болезни свиней, Алексей Шахов und Лариса Сашнина

Часто задаваемые вопросы

1. Какой формат книги выбрать: PDF, EPUB или FB2?
Тут все зависит от ваших личных предпочтений. На сегодняшний день, каждый из этих типов книг можно открыть как на компьютере, так и на смартфоне или планшете. Все скачанные с нашего сайта книги будут одинаково открываться и выглядеть в любом из этих форматов. Если не знаете что выбрать, то для чтения на компьютере выбирайте PDF, а для смартфона - EPUB.

2. Можно ли книги с вашего сайта читать на смартфоне?
Да. Как для iOS, так и для Android есть много удобных программ для чтения книг.

3. В какой программе открыть файл PDF?
Для открытия файла PDF Вы можете воспользоваться бесплатной программой Acrobat Reader. Она доступна для скачивания на сайте adobe.com