Молекулярная физика. Физика газов и жидкостей
Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы, В. Киреев, А. Столяров
Разделы: Микроэлектроника, интегральные схемы, Электротехника, Молекулярная физика. Физика газов и жидкостей
Страниц: 192
Год издания: 2006
Язык: Русский
Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Пр ...
Элементарные процессы и ионизационные явления в газоразрядных средах. Учебное пособие, А. Н. Ключарев, Н. Н. Безуглов
Страниц: 244
Год издания: 2013
Язык: Русский
В книге излагается современное состояние физики процессов ионизации в атом-атомных столкновениях с участием возбужденных и нормальных частиц. Для столкновений в интервале тепловых и субтепловых темпер ...